塵埃粒子計數(shù)器由顯微鏡發(fā)展而來，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數(shù)器、激光空氣粒子計數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計數(shù)器的過程，其中因激光空氣粒子計數(shù)器測試速度快、動態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢，而成為近年來成為很多行業(yè)的主流產(chǎn)品。

　　光源是塵埃粒子計數(shù)器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)性高、壽命長、不受干擾。激光塵埃粒子計數(shù)器的光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機(jī)后需要預(yù)熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)，所以采用激光光源的激光塵埃粒子計數(shù)器其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到0.1μm的微粒。
 

　　目前市面上的塵埃粒子計數(shù)器的流量有：2.83L/min，28.3L/min,50L/min,100L/min,這些流量的大小，其實就是采樣速率的大小，從數(shù)字大小上就很直觀了，塵埃粒子計數(shù)器流量大小的作用就是直接影響采樣速率，從而直接影響檢測效率。流量越大，每分鐘采集的空氣數(shù)據(jù)越多，也就越能代表潔凈室的真實潔凈度水平。

　　國外都采用的是“立方英尺”換算成國內(nèi)的“升”。1立方英尺=28.3168升，粒子計數(shù)器原來都是根據(jù)國外的標(biāo)準(zhǔn)來的生產(chǎn)的，國外生產(chǎn)的是0.1立方英尺/升的東西，就是2.83L/min的。所以，一般建議用28.3L/min或以上的流量的粒子計數(shù)器。這樣才能提升檢測效率，從而提升工作效率。
 

　　空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和粒子大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和空氣粒子大小而論，有一個基本的規(guī)律，是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強(qiáng)度就可推斷微粒的大小了，這就是光散射式粒子計數(shù)器的基本工作原理。

　　實際上，每個粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度都較弱，是一個非常小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度大些的電脈沖，然后在經(jīng)過電子線路的進(jìn)一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時，電脈沖數(shù)量對應(yīng)的是微粒的個數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)的是微粒的大小。